Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier zeichnete jetzt das Team der Oberkochener Zeiss-Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) mit dem Deutschen Zukunftspreis 2020 aus. Die Jury würdigte damit Dr. Peter Kürz von Zeiss, Dr. Michael Kösters von Trumpf Lasersystems for Semiconductor Manufacturing und Dr. Sergiy Yulin vom Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF in Jena für ihren Beitrag zur Entwicklung und industriellen Serienreife der EUV-Lithographie.

EUV steht für „extrem ultraviolett“, also Licht mit extrem kurzer Wellenlänge. Mit dieser Technologie lassen sich in diesem und dem nächsten Jahrzehnt stetig leistungsfähigere, energieeffizientere und kostengünstigere Mikrochips herstellen. Diese bilden die Basis für Autonomes Fahren, 5G, Künstliche Intelligenz und viele weitere neue Anwendungen, die heute noch nicht vorstellbar sind, heißt es in einer Pressemitteilung von Zeiss aus Oberkochen.

„Wir freuen uns über den Deutschen Zukunftspreis und sind sehr stolz auf das Team, das hinter der außerordentlichen Entwicklungsleistung der EUV-Technologie steht“, so Dr. Karl Lamprecht, Vorstandsvorsitzender der Zeiss-Gruppe. „Gleichzeitig ist der Preis und die doppelte Nominierung eine schöne Bestätigung der Innovationskraft unseres Unternehmens, die den wirtschaftlichen und gesellschaftlichen Fortschritt gleichermaßen fördert.“

Der Bundespräsident ehrt mit dem Preis Wissenschaftler für herausragende technische, ingenieur- und naturwissenschaftliche Leistungen, die zu anwendungsreifen Produkten führen. Er ist mit 250 000 Euro dotiert. Neben der wissenschaftlichen Exzellenz sei auch ein klar erkennbarer Nutzen für die Gesellschaft, die Umwelt und für die Wirtschaft kennzeichnend für die Preisträger-Projekte.

Die Preisträger hätten einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung der EUV-Technologie als Fertigungsverfahren für die neuesten Chip-Generationen geleistet, das die bisherigen Grenzen des technisch Machbaren überwindet, heißt es seitens Zeiss. Das Resultat sei eine durch über 2000 Patente abgesicherte Zukunftstechnologie, die Basis für den künftigen technischen Fortschritt und die Digitalisierung des Alltags bilde.

„Dass ein so wichtiger Preis für eine so sensationelle Leistung auf die Ostalb kommt, ist eine Freude, schmückt die Region und wirkt weit darüber hinaus. Ich freue mich mit den Geehrten und mit der ganzen Raumschaft“, gratulierte die Wahlkreis-Bundestagsabgeordnete Leni Breymaier zu der Auszeichnung.

Die EUV-Lithographie sei ein herausragendes Beispiel dafür, welcher technologische und ökonomische Mehrwert durch Kooperation, Forschergeist und nachhaltiges Engagement erreichbar ist, so die Zeiss-Pressemitteilung. Verbunden mit EUV hätten Zeiss und Trumpf in diesem Jahr zusammen mehr als eine Milliarde Euro umgesetzt und bis heute schon mehr als 3300 Hochtechnologie-Arbeitsplätze geschaffen – Tendenz steigend.

Zwei Nominierungen

Zeiss stelle als erstes Unternehmen in der Geschichte des Deutschen Zukunftspreises, der seit 1997 vergeben wird, zwei der nominierten Teams, heißt es weiter. Neben dem Preisträger-Team der SMT, gehöre auch ein Team der Zeiss-Sparte Medical Technology zum „Kreis der Besten“. Eine hochkarätige Jury wähle in einem mehrstufigen Prozess aus einer Vielzahl an Projekten jedes Jahr drei Forscherteams und ihre Innovation in die Endrunde des Preises.